Реєстраційний номер
0212U004371,
0111U010547
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Технології отримання сучасних напівпровідникових плівок SiC, AlN для застосування в мікроелектроніці та оптоелектроніці
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Перекрестов В"ячеслав Іванович,
Дата реєстрації
09-02-2012
Організація виконавець
Сумський державний університет
Опис етапу
Об'єкт дослідження - процеси структуроутворення конденсатів Si, SiC і AlN за умов прояву польової селективності та наближення до термодинамічної рівноваги. Метою проекту є дослідження й розробка нових технологічних підходів до формування конденсатів Si, SiC і AlN, основаних на явищах самоорганізації квазірівноважних стаціонарних процесів на межі поділу низькотемпературна плазма-конденсат. На першому етапі виконання проекту реалізована самоорганізація різних структурно-морфологічних характеристик поверхні Si, як прояв польової селективності. При дослідженні елементного складу конденсатів було встановлено що формування високотекстурованих шарів політипу 3С-SiC можливе за умов іонного розпилення в високочистому інертному середовищі складеної з графіту та кремнію мішені. Для отримання 3С-SiC визначені такі технологічні параметри, як температура підкладки, тиск робочого газу, геометричні характеристики складеної мішені та оптимальна відстань мішень підкладка. Найбільш близькі до стехіометричного складу конденсати системи Al N можна отримати при використанні накопичувальної системи плазма конденсат та проточному напуску парів рідкого азоту, тиск яких підтримувався на рівні 9 Па. При цьому встановлено, що впродовж нарощування конденсату відбувається перехід від аморфного до кристалічного стану у вигляді гексагональної решітки вюрциту.
Опис продукції
Відпрацьована та досліджена технологія отримання плівок SiC, AlN в квазірівноважних умовах у високочистому інертному середовищі при конденсації гранично слабких потоків речовини за допомогою магнетрону на постійному струмі, а також технологія осадження конденсатів в зворотних дифузійних потоках розпиленої речовини в накопичувальній іонно-плазмовій системі
Автори роботи
Дьошин Борис Вікторович
Дьошин Віктор Борисович
Корнющенко Ганна Сергіївна
Космінська Юлія Олександрівна
Латишев Віталій Михайлович
Мокренко Олександр Анатолійович
Перекрестов Вячеслав Іванович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
