Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0212U004885, 0111U002906 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення випробувальної лабораторії скануючої зондової мікроскопії Назва етапу роботи Керівник роботи Прокопенко Ігор Васильович, Дата реєстрації 07-02-2012 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Проведено адаптацію згідно вимог УкрСЕПРО методик вимірювання геометричних розмірів елементів рельєфу поверхонь та параметрів шорсткості (середньоквадратичне відхилення висот) на базі скануючого зондового мікроскопу NanoScope IIIa Dimension 3000TM. Опис продукції Адаптовано і повірено державним підприємством "Укрметртестстандарт" СЗМ-методики контролю геометричних розмірів у нанометровому діапазоні. Автори роботи Єфремов О.О. Корчовий А.А. Литвин О.С. Литвин П.М. Лобортас Л.Є. Мешкова І.А. Прокопенко І.В. Рябченко Ю.О. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Створення випробувальної лабораторії скануючої зондової мікроскопії
Керівник: Прокопенко Ігор Васильович. Створення випробувальної лабораторії скануючої зондової мікроскопії. (Етап: ). Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0212U004885
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15


Роздрукувати цю сторінку