Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U006324, 0110U004668 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення нанотехнологій виготовлення наноструктурованих кремній-карбонізованих матеріалів та розроблення на їх основі світловипромінюючих елементів у широкому діапазоні довжини хвиль. Назва етапу роботи Керівник роботи Лисенко Володимир Сергійович, Дата реєстрації 20-03-2012 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Вичено вплив фізико-технологічних умов обробки поруватого кремнію в атмосфері ацетилену на формування графітоподібного конденсату на стінках нано-пор. Показано, що зростання кількості графітоподібного конденсату погіршує світловипромінюючи властивості SiO2:C матеріалу. З іншого боку, встановлено, що формування кремній-вуглецевих зв'язків сприяє поліпшенню ефективності світловипромінювання. Знайдені умови карбонування, які сприяють формуванню вуглець-кремнієвих зв'язків необхідних для формування світловипромінюючого матеріалу: процес карбонування треба проводити в розчиненому ацетилені, при високій температурі та короткий час (для запобігання формуванню графітоподібних кластерів). Вивчений вплив технологічних умов осадження (потужність розряду) вміст вуглецю в кремній-вуглецевих тонких плівках, отриманих методом магнетронного розпилення, при фіксованому складі робочої газової суміші та температурі підкладинок. Показано, що вміст вуглецю зростає із зменьшеням потужністю розряду. Зростання вмісту вуглецю корелює зі зменшенням об'ємної щільності та механічних напружень. Встановлено, що ступінь шорсткості поверхні плівок корелює з об'ємною щільністю. Запропонована структурна модель, згідно якої зв'язки типу Si:C-Hn в основному "сконденсовані" на межі поділу між нанорозмірними морфологічними особливостями росту плівки. Відпрацьована технологічна методика інкорпорування тербію в кремній -вуглецеві плівки. Виготовлені зразки плівок a-Si(1-x)C(x):H(:Tb) для подальшого виготовлення світловипромінюючих плівок a-SiC(x)С(y):H(:Tb). Опис продукції Автори роботи Васін Андрій Володимирович Назаров Олексій Миколайович Охолін Павло Миколайович Русавський Андрій Вадимович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити