Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U006325, 0110U004668 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення нанотехнологій виготовлення наноструктурованих кремній-карбонізованих матеріалів та розроблення на їх основі світловипромінюючих елементів у широкому діапазоні довжини хвиль. Назва етапу роботи Керівник роботи Лисенко Володимир Сергійович, Дата реєстрації 20-03-2012 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Проведено базові роботи по розробці технологічних методик отримання світловипромінючих матеріалів на основі сполук Si:O:C. Досліджено основні закономірності взаємодії поруватого кремнію з нерозчиненим ацетиленом. Встановлено, що для підвищення ефективності карбонування ацетилен необхідно розчинювати інертним газом. Вивчено вплив умов магнетронного осадження (потужності розряду) на структурні властивості плівок a-SixC1-x:H з надлишком вуглецю. Методом атомно-силової мікроскопії, растрової електронної мікроскопії та спектроскопії комбінаційного розсіювання світла субмікронного масштабу встановлено, що окислення плівок a-SiC:H з надлишком вуглецю в атмосфері кисню відбувається дискретними наорозмірними "блочними" структурними фрагментами, розмір і форма яких обумовлюється нанорозмірною морфологією росту плівок. Характер трансформації морфології залежить від щільності вихідного матеріалу плівок a-SiC:H. Вивчено вплив температури процесу карбонування у діапазоні 800-1000 0С, умов окислення карбонованого поруватого кремнію (температура в діапазоні 600-700 0С, вміст парів води в аргоні) на спектральні характеристики фотолюмінесценції шарів por-SiO2:C. Показано, що при підвищені температури карбонізації широка полоса фотолюмінесценції зсувається в короткохвильову частину спектру Методом комбінаційного розсіювання світла досліджено процеси інкорпорування вуглецю в поруватий кремній при термообробці в атмосфері ацетилену при коротких часах термообробки (5-10 хвилин). Показано, що формування графітоподібних вуглецевих кластерів починається при температурі вище 800 0С. Опис продукції Автори роботи Васін Андрій Володимирович Назаров Олексій Миколайович Охолін Павло Миколайович Русавський Андрій Вадимович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити