Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U006783, 0111U008998 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів плазмохімічного і газофазного відновлення металовміщуючих з'єднань у середовищах активних і інертних газів. Синтез і розділення фторидів металів і їх сполук. Назва етапу роботи Керівник роботи Широков Борис Михайлович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 10-07-2012 Організація виконавець Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України, Інститут теоретичної фізики ім. О. І. Ахієзера Опис етапу Досліджено особливості одержання шарів вольфраму, WRe і WTa сплавів плазмохімічним методом. Показано, що застосування плазми індукційного високочастотного розряду дозволяє проводити процес осадження при більш низьких температурах підкладки з більш високою швидкістю. Досліджено кінетику плазмохімічного осадження шарів, вивчена залежність швидкості осадження від основних параметрів процесу (температури підкладки, парціальних тисків реагентів, вкладеної в розряд потужності). Встановлено, що енергія активації плазмохімічного процесу нижча, ніж газофазного. Опис продукції Проведено плазмохімічне осадження вольфрама, вольфрамрениевих та вольфрамтанталових сплавів. Досліджена кінетика осадження сплавів залежно від вкладеної в розряд потужності й парціальних тисків вихідних реагентів. Автори роботи Бакай Катерина Сергеевна Глушко Павло Іванович Дериземля Анатолій Миколайович Журавльов Олександр Юрьевич Зуєва Татьяна Миколаевна Капустін Віталій Леонідович Крохмаль Сергей Олександрович Мартиненко Віктор Григорович Осипов Олександр Давидович Патокін Олександр Петрович Пелипець Юрий Олександрович Радченко Володимир Іванович Семенов Микола Олександрович Стригуновський Сергей Олександрович Суща Аліна Анатольевна Хованський Микола Олександрович Шеремет Володимир Іванович Широков Борис Михайлович Шиян Олександр Васильович Щербакова Валентина Володимирівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити