Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U006897, 0111U006176 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження електро-фізичних, механічних, теплових і оптичних властивостей напівпровідників, напівпровідникових і металічних плівок. Назва етапу роботи Керівник роботи Тулупенко Віктор Миколайович, Дата реєстрації 21-08-2012 Організація виконавець Донбаська державна машинобудівна академія Опис етапу Об'єкт дослідження - процеси фазоутворення і кінетики зростання плівок, пов'язані з дією зовнішніх чинників. Метою роботи є вирішення задачі щодо встановлення процесів формування структури, складу і властивостей плівкових покриттів, утворених в системах V-B-N і Та-В-N залежно від умов розпилення і складу робочого газу а також оптимізація цих умов з метою одержання плівок із заданими фізико-механічними властивостями і розробка рекомендацій по їх практичному використанню. Предмет дослідження - вплив умов розпилення і конденсації на особливості зростання і фізико-механічні властивості плівок боридів і боронітридів ванадію і танталу, синтезованих реактивним і не реактивним ВЧ-магнетронним розпиленням мішеней VB2 і ТаВ2. Метод дослідження: у роботі використано комплекс експериментальних і теоретичних методів дослідження. Теоретичні й практичні результати : коротко обґрунтовано основні принципи та наближення для побудови механізму, що описує перенесення атомів речовини, яка розпилюється з поверхні мішені до поверхні підкладки, який дав би можливість провести комп'ютерне моделювання цього процесу методом Монте-Карло. Досліджено найбільш характерну морфологічну особливість формування структури плівок диборидів перехідних металів що синтезуються PVD-методами з текстурою зростання площиною (001). Новизна - в результаті проведених комплексних теоретичних досліджень, визначений оптимальний діапазон осадження за умовами масопереносу. Показано найбільш характерні морфологічні особливості формування структури плівкових покриттів диборидов перехідних металів. Встановлено, що перехід з нанокристалічного стану в кластерне приводить до формування достехиометричних плівок. Область застосування - дослідження і розробки в галузі природничих та технічних наук. Опис продукції Обґрунтовано основні принципи та наближення для побудови механізму, що описує перенесення атомів речовини, яка розпилюється з поверхні мішені до поверхні підкладки, який дав би можливість провести комп’ютерне моделювання цього процесу методом Монте-Карло.Досліджено найбільш характерну морфологічну особливість формування структури плівок диборидів перехідних металів, що синтезуються PVD-методами з текстурою зростання площиною (001). Автори роботи Акімов Володимир Ігорович Білих Валерій Георгійович Богданова Татьяна Леонідівна Будніков Єгор Юрійович Демедюк Роман Олександрович Дмитриченко Татьяна Вікторівна Костенко Володимир Михайлович Масич Віталій Васильович Огньотова Жанна Миколаївна Петухов Вадим Вікторович Соломіна Вікторія Федорівна Тишкевич Анатолій Володимирович Тулупенко Віктор Миколайович Тютюнник Антон Михайлович Фоміна Оксана Сергіївна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити