Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U007764, 0112U008079 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення високоефективних інфрачервоних обігрівачів загальнотехнічного призначення з нагрівальним тонкоплівковим елементом на основі оксидних напівпровідників Назва етапу роботи Керівник роботи Родіонов Валерій Євгенович, Дата реєстрації 25-12-2012 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Об'єкт дослідження - розробка технології отримання ІЧ-обігрівачів на склі з використанням у якості нагрівального елементу тонкоплівкового шару оксидного напівпровідника. Мета роботи - створення високоефективного ІЧ-обігрівача. Метод дослідження - вакуумне ВЧ-магнетронне осадження плівок оксидних напівпровідників, підбір необхідних домішок і технологічних режимів, визначення стабільності отриманих плівок в режимі роботи від часу експлуатації, спектру пропускання, випромінювання, отриманих електрофізичних параметрів. Тонкоплівкові оксидні матеріали в наш час широко використовуються в пристроях відображення інформації, сонячних фотоелектричних перетворювачах, оптичних фільтрах, та інших функціональних пристроях опто- і мікроелектроніки. Використовуючи можливість варіювання опору тонких плівок оксидних вироджених напівпровідників в достатньо широкому діапазоні та їх добру адгезію до різного роду підкладок, слід очікувати широке використання даних плівок для систем та пристроїв електронагріву. Однак до останнього часу стабільність плівкових оксидних напівпровідників при підвищеній температурі булі низькою. Нам вдалося створити стабільні тонкі плівки ряду оксидних напівпровідників зі стабільними характеристиками при підвищенні температури до 250-300 0С. Результати даної НДР "Розроблення високоефективних інфрачервоних обігрівачів загальнотехнічного призначення з нагрівальним тонкоплівковим елементом на основі оксидних напівпровідників" в наш час впроваджуються на заводі "Стеатит", дослідному заводі ІЕЗ ім.Е.О.Патона та плануються до впровадження на дослідно-експериментальному заводі цивільної авіації №20. Основним для серійного виробництва ІЧ-перетворювачів є виготовлення і поставка їм ліній ВЧ-магнетронного напилювання великої продуктивності. СКЛО, ОКСИДНИЙ ВИРОДЖЕНИЙ НАПІВПРОВІДНИК, ІНФРАЧЕРВОНЕ ВИПРОМІНЮВАННЯ, СТАБІЛЬНІСТЬ. Опис продукції Розроблення технології одержання тонкоплівкових резистивних покриттів на основі вироджених напівпровідників з набором питомих опорів від 10 до 100 Ом/кв; Розроблення технічної документації і технології виготовлення дослідних зразків інфрачервоних обігрівачів потужністю 1,5 кВт на основі 60х120 см2. Автори роботи Забулонов Ю.А. Заяц М.С. Родіонов В.Є. Хомченко В.С. Шека Г.К. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити