Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U008802, 0110U004115 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення установки протонної літографії з субмікронною роздільною здатністю. Назва етапу роботи Керівник роботи Пономарьов Олександр Георгійович, Дата реєстрації 03-01-2013 Організація виконавець Інститут прикладної фізики НАН України Опис етапу Розроблено установку протонної літографії з новою зондоформуючою системою, в якої процес сканування сфокусованим пучком відбувається за допомогою електростатичного сканера зі швидкісним підсилювачем; розроблено автоматизовану електронну систему керування процесом сканування та програмну мову завдання форми шаблону фабрикації мало розмірних тривимірних структур; виготовлено нову камеру експонування зразків; модернізовано магнітні квадрупольні лінзи системи фінального фокусування пучка; проведено відпрацювання літографічного процесу сфокусованим пучком протонів. Проведено теоретичні і експериментальні дослідження процесу формування пучка протонів в нової зондоформуючої системі на базі квадруплету магнітних квадрупольних лінз з індивідуальними джерелами живлення. Отримано субмікронну роздільну здатність та показано, що така система має щільність струму в тричі більшу за конвенційну систему "російський квадруплет". Опис продукції Розроблено та виготовлено іонопровід, вакуумну систему, камеру взаємодії сфокусованого пучка з опромінюваними зразками, швидкісну електростатичну скануючу систему, дублет магнітних квадрупольних лінз, антивібраційну основу. Проведені оптимізаційні розрахунки зондоформуючой системи нового типу на базі квадруплету магнітних квадрупольних лінз з чотирма незалежними джерелами живлення. Експериментально підтверджені загальні фізичні параметри системи цього типу, яка має більш ніж втричі більшу щільність струму в зонді в порівнянні з аналогічними конвенційними системами. Проведено відпрацювання процесу опромінення зразка з резистивними властивостями та отримана тривимірна мікрометрична структура. Автори роботи Колінько Сергій Володимирович Магілін Дмитро Владиславович Мельник Костянтин Ігорович Мирошніченко Валентин Іванович Пономарьов Артем Олександрович Пономарьов Олександр Георгійович Ребров Володимир Анатолійович Ребров Олексій Володимирович Романенко Олександр Вікторович Чемеріс Олександр Іванович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити