Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0212U009036, 0112U004194 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології нанорозмірних структур з плівками германію та його сполук з кремнієм і арсенідом галію на підкладках GaAs та Si для виготовлення на їх основі електронних приладів. Назва етапу роботи Керівник роботи Венгер Євген Федорович, Дата реєстрації 26-12-2012 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Фізико-технологічні дослідження внутрішніх механічних напружень, електричних властивостей, композиційних і морфологічних нанонеоднорідностей та механізмів росту нанорозмірних плівок Ge на GaAs в залежності від швидкості осадження і товщини нанотонких плівок, а також розробка технології формування металевих контактних систем до наношарів Ge. Опис продукції Технологія виготовлення нанорозмірних плівок Ge на GaAs, та металевих контактних систем до наношарів Ge. Дослідження внутрішніх механічних напружень, електрофізичних властивостей, композиційних і морфологічних нанонеоднорідностей та механізмів росту і структурної релаксації в нанорозмірних плівках Ge на GaAs в залежності від швидкості осадження і товщини нанотонких плівок, а також дослідження та моделювання технологічних процесів формування контактів на основі германідів паладію до наноструктурованих шарів Ge. Автори роботи Венгер Євген Федорович Забродська Олена Сергіївна Мітін Вадим федорович Мітін Валентин Вадимович Матвеєва Людмила Олександрівна Неміш Іван Юрійович Холевчук Володимир Васильович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити