Реєстраційний номер
0213U000606,
0112U005381
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка нових технологічних прийомів формування і контролю мікро- і наноструктур на основі використання високолокальних електромагнітних полів, що створюються методами скануючої мікрохвильової мікроскопії
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Сліпченко Микола Іванович,
Дата реєстрації
26-02-2013
Організація виконавець
Харківський національний університет радіоелектроніки
Опис етапу
Проведено аналіз стану та перспектив розвитку скануючої зондової модифікації об'єктів технології наноелектроніки. Обгрунтовано фізико-теоретичні аспекти вивчення високолокальної теплової дії НВЧ зондів. Проведено числові дослідження процесів встановлення температури в системі НВЧ зонд-напівпровідниковий об'єкт з використанням існуючих методів рішення електродинамічних та теплофізичних задач. Розроблено алгоритми дослідження просторово-часового розподілу температури при умовах подібних до технологічного процесу перелегування напівпровідників.
Опис продукції
Розроблено основи методів чисельного аналізу і моделювання фізичних процесів і характеру взаємодії локалізованих полів з мікро- і нанорозмірними об'єктами і структурами.
Автори роботи
Бондаренко І.М.
Бородін О.В.
Васильєв Ю.С.
Власенко Л.О.
Галич О.В.
Гордієнко Ю.О.
Григорьєв Е.В.
Гуд Ю.І.
Задніпровська Л.П.
Карнаушенко В.П.
Мельник С.І.
Поліщук О.В.
Полетаєв Д.О.
Проказа О.М.
Сергеєв П.Ю.
Старостенко В.В.
Таран Е.П.
Троїцький С.І.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
