Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0213U001130, 0112U004010 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення випробувальної лабораторії скануючої зондової мікроскопії Назва етапу роботи Керівник роботи Прокопенко Ігор Васильович, Дата реєстрації 29-01-2013 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Створена і атестована ДП «Укрметртестстандарт», випробувальна лабораторія вимірювання геометричних параметрів поверхні засобами скануючої зондової мікроскопії із метрологічним забезпеченням згідно вимог УкрСЕПРО. Опис продукції Прилад можна використовувати в якості засобу вимірювальної техніки, забезпечуючи єдність вимірювання геометричних параметрів поверхні в субнанометрових, нанометрових та мікронних діапазонах. Адаптовано і повірено державним підприємством "Укрметртестстандарт" СЗМ-методики контролю геометричних розмірів у нанометровому діапазоні. Автори роботи Гурін А.В. Корчовий А.А. Литвин О.С. Литвин П.М. Лобортас Л.Є. Мешкова І.А. Прокопенко І.В. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити