Звіт по науково-дослідній роботі. Євтух Анатолій Антонович. Дослідження та розробка іонно-плазмових технологій формування кремнієвих нанокомпозитів при введенні домішок стимулюючих процеси самоорганізації.

Реєстраційний номер

0213U001390, 0110U006270 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Дослідження та розробка іонно-плазмових технологій формування кремнієвих нанокомпозитів при введенні домішок стимулюючих процеси самоорганізації.

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Євтух Анатолій Антонович,

Дата реєстрації

31-01-2013

Організація виконавець

Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України

Опис етапу

Звіт подається в одному томі і складає 30 сторінок, у тому числі рисунків 6, таблиця 1, використаних джерел 32. Ключові слова: нанокристали, технологія, іонно-плазмове розпилення, структура, ІЧ-спектроскопія, електрофізичні властивості, І-V характеристики, МДН структури. Мета проекту (етапу): Дослідження впливу добавки азоту в процесі іонно-плазмового розпилення на фізичні властивості оксинітридних плівок та процеси керованого самоорганізованого росту нанокристалів кремнію в діелектричній матриці. На ІЧ-спектрах виявлені піки в області частот 700-800 см-1 пов'язані з наявністю азоту в оксинітридних плівках. Встановлено, що співвідношення робочих газів впливає на положення піку обумовленого Si-N коливаннями. Спостерігається зсув максимуму смуги пропускання, що пов'язана з Si-N коливаннями у короткохвильову область із зменшенням співвідношення газів O2/N2. Причому положення максимуму смуги пропускання, яка пов'язана з Si-O зв'язками, залишалось не змінним, що пов'язується з незміннім вмістом кисню який подавався в реакційну камеру. Встановлено, що відпал при температурі Т=4000 С протягом 30 хв. в атмосфері азоту приводить до перерозподілу інтенсивностей елементарних смуг гаусової форми у вихідних SiOxNy плівках. Встановлено, що для зразків із меншим співвідношенням робочих газів O2/N2 провідність більша, тобто плівка в якій міститься більше атомів азоту краще проводить струм. Показано, що після відпалу провідність через плівку зменшилась. Це явище пояснюється процесом структурування та відпалу дефектів у плівках. Встановлено, що електропровідність оксинітридних плівок здійснюється за механізмом стрибкової провідності із змінною довжиною стрибка по пасткам поблизу рівня Фермі (механізм Мотта).

Опис продукції

Отримані прнинципово нові наукові дані про властивості і параметри нанокластерних композитів на основі кремнію методом іонно-плазмового розпилення

Автори роботи

Євтух Анатолій Антонович
Братусь Олег леонідович
Лісовський Ігор Петрович
Литовченко Володимир Григорович

Додано/оновлено в НРАТ

2020-04-02