Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0213U001709, 0111U001463 , Науково-дослідна робота Назва роботи Реактивний іонно-плазмовий синтез функціональних нанокомпозитних покриттів в кластерній плазмово-технологічній системі Назва етапу роботи Керівник роботи Фареник Володимир Іванович, Дата реєстрації 24-01-2013 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження: макетний зразок багатофункціональної кластерної іонно-плазмової системи з параметрами, що відповідають потребам промислової експлуатації. Мета роботи: розробка нової генерації технологій реактивного іонно-плазмового синтезу багатошарових функціональних, в тому числі нано-композиційних, покриттів та структур. Метод дослідження: вимірювання параметрів магнетронного розряду та енергоаналіз потоків заряджених частинок. В звіті представлено результати розробки, створення та технологічної апробації макетного зразку багатофункціональної кластерної іонно-плазмової системи, яка призначена для нанесення та обробки складних, в тому числі нано-композиційних, покриттів та структур. Принциповою новизною створеної кластерної системи є поєднання в одній вакуумно-плазмовій установці декількох сумісних джерел потоків металів, іонів, хімічно-активних частинок для послідовної або одночасної комплексної обробки мікро- та нано-структур. Всі плазмові модулі можуть робити як окремо, так і одночасно при нанесенні складнокомпозиційних покриттів типу TiN, AlN, .ZrN, TiO2, Al2O3, ZrO2, та їх комбінацій в складі багатошарових структур та нано-композитів. Опис продукції Система призначена для нанесення та обробки складних, в тому числі нанокомпозиційних, покриттів та структур. Всі плазмові модулі можуть робити як окремо, так і одночасно при нанесенні складнокомпозиційних покриттів типу TiN, AlN, .ZrN, TiO2, Al2O3, ZrO2, та їх комбінацій в складі багатошарових структур та нанокомпозитів. Автори роботи Дахов О. Дудін С. Зиков О. Лісовський В. Плетньов В. Фареник В. Юнаков М. Яковін С. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити