Реєстраційний номер
0213U002724,
0111U002932
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Технологічні основи отримання впорядкованих наноструктур на поверхнях зондів для атомно-силової мікроскопії
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Ващенко Вячеслав Андрійович, Доктор технічних наук
Дата реєстрації
05-02-2013
Організація виконавець
Черкаський державний технологічний університет
Опис етапу
Метою роботи є отримання методом термічного вакуумного осадження тонких плівок на діелектричних зондах з подальшим електронно-променевим формуванням на них впорядкованих наноструктур для підвищення механічних, хімічних та експлуатаційних характеристик цих зондів, як вимірювального інструменту для нанодіагностики поверхонь. В результаті виконання роботи була розроблена методика та алгоритм визначення часу безвідмовної експлуатації кремнієвих зондів для АСМ, які базуються на розробленій експериментально-статистичній моделі із залученням методу планування двохфакторного експерименту, визначені оптимальні режими при яких проводилася низькоенергетична електронно-променева обробка кремнієвих зондів марки Ultrasharp CSC38 при яких відбувається підвищення їхніх техніко-експлуатаційних характеристик, працездатності та розширює діапазон вимірювальних параметрів на 15…20%; вдосконалена комбінована методика отримання тонких та ультратонких покриттів на діелектричних зондах; досліджені методами електронної мікроскопії та АСМ техніко-експлуатаційні характеристики, хімічна стійкість інструменту для нанометричних вимірювань зі сформованими на них впорядкованими наноструктурами. Ключові слова: діелектричні зонди, термічне вакуумне осадження, стрічковий електронний потік, впорядкована наноструктура, атомно-силова мікроскопія.
Опис продукції
В результаті виконання роботи розроблена методика отримання тонких та ультратонких покриттів на діелектричних зондах АСМ методом вакуумного термічного осадження та визначені оптимальні режими осадження при яких проводилася низькоенергетична електронно-променева обробка кремнієвих зондів марки Ultrasharp CSC12, що призводять до підвищення техніко-експлуатаційних характеристик та працездатності цих зондів, які базуються на модифікованому електронно-променевому обладнані та методиках дослідження, а також на вдосконаленій експериментально-статистичній моделі з залученням методу планування двохфакторного експерименту на основі якої створено алгоритм визначення часу безвідмовної експлуатації кремнієвих зондів для АСМ.
Автори роботи
Білокінь Світлана Олександрівна
Бондаренко Максим Олексійович
Бутенко Дмитро Володимирович
Бутенко Тетяна Іванівна
Ващенко Вячеслав Андрійович
Канашевич Георгій Вікторович
Коваленко Юрій Іванович
Котляр Олександр Вікторович
Куриленко Павло Іванович
Петльований Петро Вікторович
Рудь Максим Петрович
Чепурна Оксана Миколаївна
Шадхін Володимир Юхимович
Яценко Ірина Вячеславівна
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
