Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0213U003092, 0110U004738 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення та розвиток сертифікованих методик мас-спектроскопічної діагностики наноматеріалів, наноструктур та аморфних сплавів Назва етапу роботи Керівник роботи Романюк Борис Миколайович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 23-01-2013 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Проведено метрологічну атестацію мас-спектроскопічного устаткування для забезпечення мас-спектроскопічної діагностики наноматеріалів, наноструктур та аморфних сплавів. Показано, що при дослідженні діелектричних матеріалів необхідно забезпечити умови нейтралізації наведеного електричного заряду. Для цього було розроблено методику високочастотного розпилення діелектричних матриць. Проведено дослідження структури і морфології поверхні експериментальних зразків в залежності від умов розпилення і визначено оптимальні умови для аналітичних вимірювань. Визначено вплив морфології поверхні на похибку визначення домішкового складу діелектричних матриць. Показано, що значні переваги для поверхневого аналізу надає вимірювання мас-спектрів постіонізованих нейтральних часток. Проведено дослідження розподілу домішок в діелектричних плівках на кремнійових підкладинках методами мас-спектрометрії вторинних іонів та мас-спектрометрії постіонізованих нейтральних часток. Опис продукції Проведено метрологічну атестацію мас-спектроскопічного устаткування для забезпечення мас-спектроскопічної діагностики наноматеріалів, наноструктур та аморфних сплавів. Було розроблено методику високочастотного розпилення діелектричних матриць. Проведено дослідження структури і морфології поверхні експериментальних зразків в залежності від умов розпилення і визначено оптимальні умови для аналітичних вимірювань. Визначено вплив морфології поверхні на похибку визначення домішкового складу діелектричних матриць. Показано, що значні переваги для поверхневого аналізу надає вимірювання мас-спектрів постіонізованих нейтральних часток. Проведено дослідження розподілу домішок в діелектричних плівках на кремнійових підкладинках методами мас-спектрометрії вторинних іонів та мас-спектрометрії постіонізованих нейтральних часток. Автори роботи Мельник В.П. Мусаєв С.М. Оберемок О.С. Попов В.Г. Романюк Б.М. Хацевич І.М. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Розроблення та розвиток сертифікованих методик мас-спектроскопічної діагностики наноматеріалів, наноструктур та аморфних сплавів
Керівник: Романюк Борис Миколайович. Розроблення та розвиток сертифікованих методик мас-спектроскопічної діагностики наноматеріалів, наноструктур та аморфних сплавів. (Етап: ). Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України. № 0213U003092
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-18


Роздрукувати цю сторінку