Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0213U004607, 0113U000832 , Науково-дослідна робота Назва роботи "Розробка технології виробництва голограмних дифракційних граток на основі неорганічних вакуумних фоторезистів". Назва етапу роботи Керівник роботи Індутний Іван Захарович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 18-12-2013 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Спроектовано та виготовлено оснастку та зібрано оптичну схему для реалізації технології виготовлення голограмних дифракційних граток на основі халькогенідних фоторезистів. Проведено оптимізацію технологічних процесів нанесення халькогенідних фоторезистів, а також умов їх експонування і післяекспозиційної обробки. На основі оптимізованих техпроцесів виготовлені експериментальні зразки дифракційних граток та досліджені їх характеристики. Встановлено, що характеристики виготовлених в рамках даного проекту експериментальних зразків голограмних дифракційних граток відповідають технічному завданню та ГСТ 3-6128-86. Розроблені технологічні інструкції по реалізації процесу виготовлення голограмних дифракційних граток з використанням неорганічних халькогенідних фоторезистів. Опис продукції Розроблено технологію виготовлення голограмних дифракційних граток з використанням оригінальних неорганічних халькогенідних фоторезистів. Розроблена технологія може знайти застосування у виробництві спектральних приладів та оптичних сенсорів. Автори роботи Данько Віктор Андрійович Жовмір Сергій Сергійович Луканюк Марія Василівна Минько Віктор Іванович Михайловська Катерина Василівна Сопінський Микола Вікторович Шепелявий Петро Євгенович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити