Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0213U005861, 0113U004331 , Науково-дослідна робота Назва роботи Формування мікро- та наносистем металів з вузьким розподілом розмірів та форми структурних елементів Назва етапу роботи Керівник роботи Перекрестов В"ячеслав Іванович, Дата реєстрації 23-08-2013 Організація виконавець Сумський державний університет Опис етапу Були отримані мембрани анодно-окисленого алюмінію, які представляють собою нанорозмірні впорядковані пори. Для отримання наномембран були використані дві ступені анодного окислення. Вивчені за допомогою РЕМ структурно-морфологічні характеристики мембран показали, що вони мають високу однорідність. Відпрацьована технологія формування системи упорядкованих наноострівців цинку при його конденсації на кремній в умовах, близьких до термодинамічної рівноваги. Для конденсації цинку всередині пор розроблена система, що формує вузько направлений потік розпилених атомів цинку. При цьому також був використаний градієнт температур в напрямку товщини мембран, що дозволило більш ефективно конденсувати речовину всередині пор. Проаналізована залежність довжини вільного пробігу розпилених атомів від тиску робочого газу. Показано, що в якості критерію наближення до термодинамічної рівноваги в системі плазма-конденсат може бути використане відносне пересичення осаджуваних парів. При цьому для системи плазма конденсат необхідно використовувати єффективну енергію десорбції. Проведені дослідження структури системи наноострівців за допомогою РЕМ підтвердили отримання запланованого результату. Встановлені такі оптимальні технологічні параметри отримання наосистем цинку, як тиск робочого газу, температура нагрівача та холодильника, потужність магнетронного розпилювача. Опис продукції Виготовлені наноструктуровані підкладки анодноокисленого алюмінію чотирьох видів: попередньо текстуровані підкладки алюмінію (використовувалась тільки перше анодування з послідуючим травленням); мембрани анодно-окисленого алюмінію (двохступеневе анодування); наскрізні мембрани анодно-окисленого алюмінію (двохступеневе анодування з послідуючим розчиненням алюмінієвої підкладки); ультратонкі мембрани анодно-окисленого алюмінію (короткотривале двохступеневе анодування). Відпрацьована технологія формування системи упорядкованих наноострівців цинку при його конденсації на кремній в умовах, близьких до термодинамічної рівноваги. Для конденсації цинку всередині пор розроблена система, що формує вузько направлений потік розпилених атомів цинку. Встановлені такі оптимальні технологічні параметри отримання наосистем цинку, як тиск робочого газу, температура нагрівача та холодильника, потужність магнетронного розпилювача. Автори роботи Корнющенко Ганна Сергіївна Космінська Юлія Олександрівна Латишев Віталій Михайлович Наталіч Вікторія Володимирівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити