Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0213U007187, 0108U003196 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення високороздільних рентгенівських методів і обладнання для сертифікації нанорозмірних матеріалів Назва етапу роботи Керівник роботи Мачулін Володимир Федорович, Кладько Василь Петрович, Дата реєстрації 18-04-2013 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Розвинуто теоретичні і експериментальні основи комплексної методики контролю структурних параметрів як квантово-розмірних об'єктів, розміщених в кристалічній і аморфній матрицях, так і виробів мікро- та наноелектроніки. Розроблена і апробована методика рефлектометрії для контролю структурних параметрів тонких плівок (кристалічні та аморфні) а також їх густини. Cтворена лабораторія рентгеноструктурної діагностики матеріалів, структур та приладів для потреб сучасних технологій. Опис продукції Розроблення методики контролю структурних параметрів як квантово-розмірних об'єктів, розміщених в кристалічній і аморфній матрицях дозволило провести моделювання мап оберненого простору. Для дослідження ефекту поверхні та контролю геометричних та структурних параметрів тонких шарів (кристалічні та аморфні) була розроблена та апробована методика рефлектометрії. Автори роботи Єфанов Олександр Миколайович Гудименко Олександр Йосипович Кучук Андріан Володимирович Проскуренко Наталя Миколаївна Садова Тетяна Володимирівна Сафрюк Надія Володимирівна Слободян Микола Васильович Стадник Олександр Анатолійович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити