Реєстраційний номер
0213U007858,
0113U004331
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Формування мікро- та наносистем металів з вузьким розподілом розмірів та форми структурних елементів
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Перекрестов В'ячеслав Іванович,
Дата реєстрації
26-12-2013
Організація виконавець
Сумський державний університет
Опис етапу
При виконанні проекту була освоєна технологія отримання мембран анодно–окисленого алюмінію. Отримані мембрани були досліджені за допомогою растрової електронної мікроскопії. При цьому статистичну однорідність отриманих мембран було досліджено з використанням комп’ютерної програми. При виконані проекту проведений аналіз особливостей конденсації речовини поблизу термодинамічної рівноваги з використанням системи плазма-конденсат. Розроблений пристрій, який поєднує в собі незбалансований магнетронний розпилювач та систему формування вузько направленого потоку розпилених атомів. Проведена оптимізація основних технологічних параметрів при формуванні упорядкованих наносистем цинку та нікелю
Опис продукції
Освоєна технологія анодного окислення алюмінію дозволила отримати надтонкі наномембрани з діаметрами отворів 0.55-100 нм. Розроблений пристрій на основі магнетронного розпилювача та системи трубок дозволяє формувати вузькоспрямований потік розпилених атомів в середину пор мембрани, а також створює градієнт температури у напрямку зміни товщини мембрани. Визначені закономірності селективної конденсації наносистем цинку та нікелю залежно від геометричних характеристик мембран анодно-окисленого алюмінію. Встановлені оптимальні значення тиску робочого газу, температури мембран та потужності магнетронного розпилювача.Отримані наносистеми цинку типу "нейронна сітка" мають перспективу використання після окислення в якості різноманітних газових сенсорів, а упорядковані системи металевих острівців представляють основу для створення сенсорів на основі плазмонного резонансу.
Автори роботи
Корнющенко Ганна Сергіївна
Космінська Юлія Олександрівна
Латишев Віталій Михайлович
Наталіч Вікторія Вадимівна
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
