Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U000641, 0110U004695 , Науково-дослідна робота Назва роботи Аналіз та дослідження методів та засобів нанометрології. Назва етапу роботи Керівник роботи Ришковський Олександр Павлович, Дата реєстрації 04-04-2014 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Проаналізовано основні методи, способи і засоби вимірювання в нанотехнологіях, в т.ч. інтерферометрично-оптичні методи, а також методи з використанням атомно-силових і сканувальних мікроскопів, основні сенсори, що використовуються в якості чутливих елементів сканувальних мікроскопів. Опис продукції Методи, способи та засоби вимірювань в нанотехнологіях. Аналіз завдань нанометрології, основних методів, способів і засобів вимірювання в нанотехнологіях, в т.ч. інтерферометрично-оптичних методів, а також методів з використанням атомно-силових і сканувальних мікроскопів. Основні сенсори, що використовуються в якості чутливих елементів сканувальних мікроскопів. Автори роботи Ришковський О.П. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити