Search academic texts

Information × Registration Number 0214U000807, 0111U008998 , R & D reports Title Research of processes plasma chemistry and chtmical vapor deposition restoration metaine connections in the environment of active and inert gases. Synthesis and division of fluorides of metals and their connections. popup.stage_title Head Shirokov Boris Mikhajlovich, Доктор технічних наук Registration Date 18-07-2014 Organization National Science Center "Kharkiv Institute of Physics and Technology popup.description2 A fluidizer leadthrough of researches of processes of plazma-enhanced chemical renewal of khlorsilanov is created in induction HF digit of low temperature non-equilibrium plasma.Tapes of silicon are got at frequency HF digit 880 kGc, excited in the tetrachloride of silicon (SiCl4), by dilute hydrogen at correlation 5 / 1. Speed of growth of tape of silicon - 2,41 nm/s. Rentgenostrukturnyy is conducted phase analysis of tape of silicon, the size of period of crystalline grate is certain . Product Description popup.authors Бакай Катерина Сергеевна Глушко Павло Іванович Дериземля Анатолій Миколайович Евсюков А.І. Журавльов Олександр Юрьевич Зуєва Татьяна Миколаевна Капустін Віталій Леонідович Крохмаль Сергей Олександрович Мартиненко Віктор Григорович Осипов Олександр Давидович Патокін Олександр Петрович Пелипець Юрий Олександрович Радченко Володимир Іванович Семенов Микола Олександрович Стригуновський Сергей Олександрович Суща Аліна Анатольевна Хованський Микола Олександрович Широков Борис Михайлович Шиян Олександр Васильович Щербакова Валентина Володимирівна popup.nrat_date 2020-04-02 Close