Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U000971, 0114U003986 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення автоматизованих комплексів контролю параметрів напівпровідників Назва етапу роботи Керівник роботи Оксанич Анатолій Петрович, Дата реєстрації 02-12-2014 Організація виконавець Кременчуцький національний університет імені Михайла Остроградського Опис етапу Результатами дослідження є вдосконалений метод та розроблений автоматизований комплекс визначення складних форм деформацій напівпровідникових пластин і структур . Новизною методу є зменшення похибоки вимірювання за рахунок використання безконтактни методів вимірювань. Область застосування. Метод рекомендується застосовувати на підприємствах електронної галузі, що займаються виробництвом зливків монокристалів напівпровідників. В роботі на змістовному та формальному рівнях розглянуто завдання вдосконалення методу та розроблено автоматизований комплекс для вимірювання складних форм деформацій напівпровідникових пластин і структур. Розроблено структурну схему автоматизованого комплексу. Розроблено алгоритм та програмне забезпечення. Опис продукції створено автоматизований комплекс "Мікрон-1" для вимірювання складних форм деформацій напівпровідникових пластин і структур діаметром до 100мм, і діапазоном вимірювань ±50 мкм. Автори роботи Клюй Микола Іванович Когдась Максим Григорович Притчин Сергій Емільович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити