Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U001025, 0113U003105 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології нанорозмірних структур з плівками германію та його сполук з кремнієм і арсенідом галію на підкладках GaAs та Si для виготовлення на їх основі електронних приладів Назва етапу роботи Керівник роботи Венгер Євген Федорович, Дата реєстрації 15-01-2014 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Досліджено структуру та механізми формування сильно легованих та сильно компенсованих термочутливих плівок германію на арсеніді галію. Встановлено форму нанорельєфу поверхні сильно компенсованих плівок германію. Виявлено, що в залежності від товщини плівок в нанорельєфі поверхні переважають кристалографічні площини {113} і {227}. Виготовлено прототипи сенсорів для болометричного вимірювання просторового розподілу температури. Опис продукції Досліджено структуру та механізми формування сильно легованих та сильно компенсованих термочутливих плівок германію на арсеніді галію. Встановлено форму нанорельєфу поверхні сильно компенсованих плівок германію. Виявлено, що в залежності від товщини плівок в нанорельєфі поверхні переважають кристалографічні площини {113} і {227}. Виготовлено прототипи сенсорів для болометричного вимірювання просторового розподілу температури. Автори роботи Є.Ф.Венгер І.Ю.Неміш В.В.Мітін В.В.Холевчук В.Ф.Мітін Л.А.Матвєєва О.С.Забродська Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити