Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U001029, 0110U004656 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення методу та апаратури для рентгено-ультраакустистичної експресної багатопараметричної діагностики наносистем Назва етапу роботи Керівник роботи Оліх Ярослав Михайлович, Дата реєстрації 15-01-2014 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Створено фізичні основи нової комбінованої методики рентґено-акустичної неруйнівної кількісної та багатопараметричної діагностики мікродефектів кількох типів у монокристалах. Розроблена теоретична модель використовує явище уніка-льної чутливості до характеристик дефектів як повної інтеґральної інтенсивності динамічної дифракції, так і характеру її залежностей від дифракційних умов, зок-рема, від амплітуди ультразвукових коливань. Чутливість та інформативність цих залежностей суттєво підсилюються цілеспрямованим комбінуванням вимірювань у різних інших умовах дифракції. Проведена кількісна діагностика складних дефектних структур в кристалах кремнію, вирощених за методом Чохральського і опромінених різними дозами ви-сокоенергетичних електронів (18 МеВ) з використанням методів високо роздільної X-дифрактометрії. З використанням комбінованої методики карт оберненого прос-тору і кривих гойдання, були визначені концентрація і середній радіуси дислока-ційних петель, а також концентрація і радіуси преципітатів кисню в зразках крем-нію. Опис продукції Методика деформаційних залежностей інтегральної інтенсивності розсіяння кристалами з дефектами для лаує-дифракції в області К-краю поглинання. Метод застосовується для виконання унікально чутливої кількісної однозначної багатопараметричної діагностики характеристик дефектів декількох типів в монокристалах без руйнування Автори роботи Єфанов Олександр Миколайович Гудименко Олександр Йосипович Кладько Василь Петрович Кучук Андріан Володимирович МаксименкоЗоя Василівна Мачулін Володимир Федорович Проскуренко Наталія Миколаївна Сафрюк Надія Володимирівна Стадник Олександр Анатолійович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити