Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U002255, 0113U000224 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення новітніх методів механічної та електростатичної нанозондової літографії і наноманіпуляцій для потреб наноелектроніки і нанобіосенсорики Назва етапу роботи Керівник роботи Литвин Петро Мар'янович, Дата реєстрації 27-01-2014 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Теоретичні підходи і моделі, які дозволяють прогнозувати протікання локальних електрохімічних реакцій окислення та керування мікро- і нанорельєфом напівпровідникових халькогенідних плівок і можуть бути використані в скануючій зондовій літографії. Реалізовано метод нанозондового окислення кремнію, встановлено причини, які можуть приводити до некерованого руйнування поверхні кремнію та зонду в зоні контакту, включаючи некероване електро осадження фрагментів металізації зонду. Встановлена кінетика змін профілю поверхні в тонких плівках аморфних напівпровідникових халькогенідних стекол індукованих електронним променем та полем провідного зонду АСМ. Реалізоване пряме формування елементів рельєфу халькогенідних плівок. Опис продукції Метод електростатичної нанолітографії, який базується на провідній атомно-силовій мікроскопії, яка дозволяє одночасно контролювати нанорельєф поверхні та оперувати постійними струмами в діапазоні від 1 пА до 1мкА. Автори роботи Єфремов О.О. Корчовий А.А. Литвин О.С. Литвин П.М. Прокопенко І.В. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити