Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U002554, 0113U003232 , Науково-дослідна робота Назва роботи Наноструктуровані підкладки із сапфіру: одержання та використання для виготовлення структур AlN/сапфір Назва етапу роботи Керівник роботи Вовк Олена Олександрівна, Дата реєстрації 16-01-2014 Організація виконавець Інститут монокристалів НАН України Опис етапу Вдосконалено спосіб хіміко-механічного полірування підкладок з сапфіра. Одержано підкладки з сапфіру з наноструктурованою поверхнею з рівномірним розподілом терас та східцями шириною від 30 до 2000 нм. Визначено, що ступінь спотворення терасно- східчастої структури сапфіру зростає із збільшенням відновлювального потенціалу середовища та тривалості відпалу. Встановлено, що рельєф поверхні нітридного шару структури AlN/сапфір повторює структуру поверхні підкладки, спотворену в результаті термохімічного травлення Опис продукції Одержано підкладки з сапфіру з наноструктурованою поверхнею з рівномірним розподілом терас та східцями шириною від 30 до 2000 нм. Визначено,що ступінь спотворення терасно-східчатої структури сапфіру зростає із збільшенням відновлювального потенціалу середовища та тривалості відпалу. Встановлено,що рельєф поверхні нітридного шару структури AIN/сапфір повторює структуру поверхні підкладки, спотворену в результаті термохімічного травлення Автори роботи Будніков Олександр Тимофійович Матейченко Павло Вікторович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити