Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0214U002885, 0112U006974 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технологій кластерного реактивного іонно-плазмового синтезу наноструктур для потреб електроніки, біомедицини, ядерної енергетики та машинобудування Назва етапу роботи Керівник роботи Лісовський Валерій Олександрович, Дата реєстрації 30-01-2014 Організація виконавець Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України Опис етапу Експериментальна багатофункціональна кластерна вакуумно-плазмова установка для здійснення процесів РІПС. Теоретичні розрахунки та експериментальні данні впливу параметрів іонно-променевого синтезу на властивості нанорозмірних плівок оксинітридів металів. Опис продукції Автори роботи Артюшенко Катерина Павлівна Бєляєва Тамара Миколаївна Береснєв Вячеслав Мартинович Богодельний Ілля Анатолійович Казачкова Наталія Олександрівна Кривонос Володимир Михайлович Кропотов Олександр Юрійович Мізерник Вікторія Миклаївна Мірошниченко Григорій Олександрович Маліков Леонід Васильович Пхалагова Наталія Альбертівна Турбін Петро Васильович Турчин Максим Павлович Удовицький Віктор Григорович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Керівник: Лісовський Валерій Олександрович. Розробка технологій кластерного реактивного іонно-плазмового синтезу наноструктур для потреб електроніки, біомедицини, ядерної енергетики та машинобудування. (Етап: ). Науковий фізико-технологічний центр Міністерства освіти і науки та НАН України. № 0214U002885
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16