Реєстраційний номер
0214U002892,
0113U002889
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка нових технологічних прийомів формування і контролю мікро- і наноструктур на основі використання високолокальних електромагнітних полів, що створюються методами скануючої мікрохвильової мікроскопії
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Сліпченко Микола Іванович,
Дата реєстрації
31-01-2014
Організація виконавець
Харківський національний університет радіоелектроніки
Опис етапу
Розроблено методи теоретичного опису і чисельного моделювання, які найбільш адекватно відображають характер процесів модифікаційної дії локалізованого мікрохвильового випромінювання, що дозволяє оптимізувати режими технологічних прийомів і конструкції мікрозондових структур. Експериментально визначені напрямки створення технологічного обладнання та розроблені методики опанування новими технологічними прийомами формування і контролю мікро- і наноструктур.
Опис продукції
Розроблено основи методів чисельного аналізу і моделювання фізичних процесів і характеру взаємодії локалізованих полів з мікро- і нанорозмірними об'єктами і структурами.
Автори роботи
Бендеберя Г.М.
Бондаренко І.М.
Гордієнко Ю.О.
Гуд Ю.І.
Полєтаєв Д.О.
Сергєєв П.Ю.
Таран Є.П.
Троїцький С.І.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
