Звіт по науково-дослідній роботі. Стадник Богдан Іванович. Дослідження засобів вимірювання геометричних розмірів оптичними методами в нанометровому діапазоні.

Реєстраційний номер

0214U003830, 0113U003188 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Дослідження засобів вимірювання геометричних розмірів оптичними методами в нанометровому діапазоні.

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Стадник Богдан Іванович, Доктор технічних наук

Дата реєстрації

03-03-2014

Організація виконавець

Національний університет "Львівська політехніка"

Опис етапу

Здійснено аналіз проблем та напрямків розвитку засобів вимірювання геометричних розмірів в нанометровому діапазоні, проведено дослідження будови та особливостей використання оптичних сенсорів. Здійснено класифікацію оптичних засобів вимірювання геометричних розмірів в нанометровому діапазоні, розглянуто моделі вимірювальних каналів конфокального, фокусного та інтерферометричного сенсорів, проаналізовано основні чинники, що впливають на точність результатів вимірювання. Встановлено основні фактори, що обмежують застосування оптичних систем в нановимірюваннях,.

Опис продукції

Проведена класифікація оптичних засобів вимірювання геометричних розмірів в нанометровому діапазоні, аналіз моделей вимірювальних каналів конфокального, фокусного та інтерферометричного сенсорів дозволяють вибрати оптимальне рішення при розробленні оптичних засобів нанометрії та знайти шляхи покращення їх метрологічних характеристик.

Автори роботи

Волицький Р.О.
Гамула П.Р.
Луцик Я.Т.
Микитин І.П.
Пучинський Б.В.
Сасюк Т.М.
Семенистий А.В.
Сенів Г.Б.
Скоропад П.І.
Стадник Б. І.
Тищенко О.С.
Хома Ю.В.
Шендера О.Т.
Яцишин С.П.

Додано/оновлено в НРАТ

2020-04-02