Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U005548, 0113U002791 , Науково-дослідна робота Назва роботи "Радіант"- удосконалення технології створення напівпровідникових приладних структур Назва етапу роботи Керівник роботи Небеснюк Оксана Юріївна, Дата реєстрації 28-01-2014 Організація виконавець Запорізька державна інженерна академія Опис етапу Для отримання якісних систем до напівпровідникових приладів і ИМС рекомендовано проводити відпал контактів при температурі 600З і часу витримки 30 хвилин. Величина перехідного опору контактів в цьому випадку склала 1,5 Ом· .Контактні системи до кремнію на основі Мо вимагають детального дослідження в широкому інтервалі температур при різному часі витримки, причому як однокомпонентні, так і у поєднанні з іншими металами. Опис продукції На основі оптимізації режимів нанесення нікелевих контактів до кремнію реалізована багатошарова структура, для якої характерне те, що в приповерхневому шарі кремнію, безпосередньо прилеглим до металевого контакту, відсутні крихкі фази N3P, які призводять до механічного руйнування контактів. Автори роботи Дмитриев В.С. Небеснюк О.Ю. Никонов А.Ю Никонова А.А. Сечин А.С. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити