Реєстраційний номер
0214U006879,
0108U003198
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення і створення акустоемісійного експрес-методу контролю і прогнозування надійності напівпровідникових матеріалів і структур
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Власенко Олександр Іванович,
Дата реєстрації
03-03-2014
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис етапу
Розроблено акустоемісійний експрес - методу контролю лазерностимульованих порогових процесів та перетворення структури матеріалів для лазерних технологій. Контроль здійснюється по амплітуді та формі індукованих акустичних сигналів в напівпровідникових матеріалах з різною вихідною структурою і різними електрофізичними параметрами в залежності від режиму опромінення лазерів різного типу.
Опис продукції
Розроблено акустоемісійний експрес - методу контролю лазерностимульованих порогових процесів та перетворення структури матеріалів для лазерних технологій. Контроль здійснюється по амплітуді та формі індукованих акустичних сигналів в напівпровідникових матеріалах з різною вихідною структурою і різними електрофізичними параметрами в залежності від режиму опромінення лазерів різного типу.
Автори роботи
Велещук Віталій Петрович
Власенко Зоя Костянтинівна
Киселюк Максим Павлович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02