Реєстраційний номер
0214U007666,
0113U001361
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення нових давачів фізичних величин на основі легованих мікро- і нанокристалів кремнію для інформаційно-вимірювальних систем
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Дружинін Анатолій Олександрович,
Дата реєстрації
25-12-2014
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
Розроблено технологічні засади створення наноструктур на основі кремнієвих нанодротин у пристроях мікро- та наноелектроніки для комунікаційних та інформаційних систем. Розроблено нові давачі тиску-температури на основі легованих ниткоподібних кристалів кремнію та структур кремній-на-ізоляторі. Розширено їх функціональні можливості завдяки виявленим ефектам і закономірностям характеристик матеріалів, що покладено в основу роботи первинних перетворювачів.
Опис продукції
Технологічні засади створення наноструктур на основі кремнієвих нанодротин використовують в пристроях мікро- та наноелектроніки для інформаційно-вимірювальних систем в галузях діагностування матеріалів електронних компонентів. Дослідження властивостей ниткоподібних мікро- і нанокристалів Si, Si1-xGex та структур кремній-на ізоляторі, легованих домішками до концентрацій, що відповідають близькості до переходу метал-діелектрик, дозволили розширити фізичні уявлення про вплив дестабілізуючих чинників на характеристики давачів тиску-температури, дієздвтних у сильних магнітних полях та в широкому інтервалі температур, які використовують в авіакосмічних дослідженнях, кріоелектроніці, нафто-газовій промисловості, а також для моніторингу навколишнього середовища.
Автори роботи
Єрохов Валерій Юрійович
Адамчук Олександра Юріївна
Бережанський Євген Іванович
Вуйцик Андрій Михайлович
Гарасим Ірина Данилівна
Дворницький Станіслав Миколайович
Когут Юрій Романович
Корецький Роман Миколайович
Кромпець Роман Сергійович
Кутраков Олексій Петрович
Лях-Кагуй Наталя степанівна
Мерзляков Сергій Олександрович
Нічкало Степан Ігорович
Островcький Ігор Петрович
Перетятко Володимир Миколайович
Ховерко Юрій Миколайович
Яцухненко Сергій Юрійович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
