Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U008009, 0109U004031 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення технології виробництва сапфірових підкладок напівпровідникової чистоти для світлодіодних структур Назва етапу роботи Керівник роботи Будніков Олександр Тимофійович, Дата реєстрації 14-05-2014 Організація виконавець Інститут монокристалів НАН України Опис етапу Одержано підкладки з наноструктурованою поверхнею у вигляді терасно-східчастої структури з періодом від 40 до 2000 нм, шоркістю 0.2-0.5нм. Розроблено методи механічного та хімічного очищення поверхонь сапфірових підкладок для проведення термохімічної нітридизації. Проведено нітридизацію на підкладках з сапфіру з наноструктурованою поверхнею та одержано структурно досконалі темплейти (0001) AIN/(0001)AI2O3 з товщиною нітридного шару 1 мкм, шоркістю 3-5 нм, напівшириною кривої дифракційного відбиття 15'-30'. Опис продукції Одержано підкладки з наноструктурованою поверхнею у вигляді терасно-східчатої структури з періодом від 40 до 2000нм, шоркістю 0.2-0.5нм. розроблено методи механічного та хімічного очищення поверхонь сапфірових підкладок для проведення термохімічної нітридизації. Проведено нітридизацію на підкладках з сапфіру з наноструктурованою поверхнею та одержано структурно досконалі темплейти (0001) AIN/(0001)Al2O3 з товщиною нітридного шару 1мкм, шоркістю 3-5мкм, напівшириною кривої дифракційного відбиття 15'-30' Автори роботи Вовк Олена Олександрівна Ніжанковський Сергій Викторович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити