Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U008016, 0108U004834 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка і створення технологій вирощування низькотемпературних сполук кремнію для мікроелектронних сенсорів. Назва етапу роботи Керівник роботи Мітін Вадим Федорович, Дата реєстрації 19-05-2014 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Розроблено технологію отримання наноструктур SiО2/Si різними методами (термічне окислення кремнію при різних температурах, його електролітичне і анізотропне травлення, нейтронне опромінення). Виготовлені наноструктури SiО2/Si з використанням попередньої обробки підкладки кремнію водневою плазмою. Виявлені особливості їх фізичних властивостей (наявність вбудованого електричного поля і квантово-розмірного ефекту, зміну механічних напружень на межі поділу). Опис продукції Розроблено технологію отримання наноструктур SiО2/Si різними методами (термічне окислення кремнію при різних температурах, його електролітичне і анізотропне травлення, нейтронне опромінення). Виготовлені наноструктури SiО2/Si з використанням попередньої обробки підкладки кремнію водневою плазмою. Виявлені особливості їх фізичних властивостей (наявність вбудованого електричного поля і квантово-розмірного ефекту, зміну механічних напружень на межі поділу). Автори роботи І.Ю.Неміш В.В.Мітін В.В.Холевчук Л.А.Матвеєва О.С.Кулик О.Ю.Колядіна П.Л.Нелюба Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити