Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U008465, 0110U005776 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення рентгенівського дифракто-топографо-рефлектометра для косонесиметричної геометрії дифракції з урахуванням дифузного розсіяння та шорсткості профільованих поверхонь, зокрема, на ковзних променях для неруйнівної селективної за глибиною та багатопроекційної діагностики виробів нанотехнологій Назва етапу роботи Керівник роботи Кисловський Євген Миколайович, Дата реєстрації 24-12-2014 Організація виконавець Інститут металофізики ім Г.В. Курдюмова Національної Академії Наук України Опис етапу Створена статистична динамічна теорія розсіяння у кристалах з дефектами для косонесиметричної геометрії у випадку ковзних променів, з урахуванням ефектів багатократності як бреггівського, так і дифузного розсіянь, та на її основі розроблені унікальні методи косонесиметричної діагностики неоднорідних багатопараметричних наносистем та рефлектометрії поверхонь. Розроблені методи забезпечують можливість багатопараметричної неруйнівної кількісної, при цьому селективної за глибиною з нанорозмірним кроком сканування, діагностики неоднорідної складної структури наносистем. При цьому методи забезпечують чутливість до точкових дефектів з концентраціями від 10^(-6), всіх дефектів, кожен з яких дає внесок у показник статичного фактору Кривоглаза-Дебая-Валлера вище 10^(-3), а у коефіцієнт дифузної екстинкції Молодкіна-Дедерікса вище 10^(-2) від коефіцієнта фотоелектричного поглинання. Чутливість до зміщень атомів від дефектів передбачається не гірше 10^(-6) нанометра. Методи, які б задовольняли вказаному комплексу вимог, не мають аналогів у світовій практиці. Опис продукції Створена статистична динамічна теорія розсіяння у кристалах з дефектами для косонесиметричної геометрії у випадку ковзних променів, з урахуванням ефектів багатократності як бреггівського, так і дифузного розсіянь, та на її основі розроблені унікальні методи косонесиметричної діагностики неоднорідних багатопараметричних наносистем та рефлектометрії поверхонь. Розроблені методи забезпечують можливість багатопараметричної неруйнівної кількісної, при цьому селективної за глибиною з нанорозмірним кроком сканування, діагностики неоднорідної складної структури наносистем. При цьому методи забезпечують чутливість до точкових дефектів з концентраціями від 10^(-6), всіх дефектів, кожен з яких дає внесок у показник статичного фактору Кривоглаза-Дебая-Валлера вище 10^(-3), а у коефіцієнт дифузної екстинкції Молодкіна-Дедерікса вище 10^(-2) від коефіцієнта фотоелектричного поглинання. Чутливість до зміщень атомів від дефектів передбачається не гірше 10^(-6) нанометра. Методи, які б задовольняли вказаному комплексу ви Автори роботи І.Е. Голентус І.М. Заболотний А.А. Катасонов А.О. Белоцька В.Б. Молодкін В.В. Лізунов В.Л. Маківська М.І. Дзюбленко О.В. Решетник О.С. Скакунова О.Ю. Гаєвський С.Й. Оліховський Т.П. Владімірова Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити