Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0214U008495, 0113U003252 , Науково-дослідна робота Назва роботи Опрацювання процесів осадження та травлення нанорозмірних сегнетоелектричних плівок та електродних шарів Назва етапу роботи Керівник роботи Юрійчук Іван Миколайович, Дата реєстрації 25-12-2014 Організація виконавець Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича Опис етапу Метод іонно-плазмового розпилення застосований і вдосконалений для отримання ультратонких сегнетоелектричних плівок цирконат-титанату свинцю при створенні комірок пам'яті в сегнетоелектричних запам'ятовуючих пристроях. Отримані методом іонно-плазмового осадження електроди кобальт-нікелевого оксиду замість SrRuO3 - електродів для ЦТС-сегнетоелектричних конденсаторів дозволили знизити вартість виготовлення комірок пам'яті. Показано, що нанокристалічні сегнетоелектричні плівки цирконат-титанату свинцю з низькою напругою переключення в межах 0,8В - 1,2В можуть бути інтегровані в технологію виробництва кремнієвих приладів. Опис продукції Розроблені методи іонно-плазмового розпилення і реактивного осадження ультратонких сегнетоелектричних плівок цирконат-титанату свинцю та електродних шарів кобальт-нікелевого оксиду для створення комірок пам'яті в сегнетоелектричних запам'ятовуючих пристроях. Автори роботи Клето Геннадій Іванович Обедзиньський Юрій Костянтинович Стребежев Володимир Вікторович Юрійчук Іван Миколайович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Опрацювання процесів осадження та травлення нанорозмірних сегнетоелектричних плівок та електродних шарів
Керівник: Юрійчук Іван Миколайович. Опрацювання процесів осадження та травлення нанорозмірних сегнетоелектричних плівок та електродних шарів. (Етап: ). Чернівецький національний університет імені Юрія Федьковича. № 0214U008495
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-14


Роздрукувати цю сторінку