Реєстраційний номер
0214U008849,
0111U007122
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка технології вирощування SiGe та Si нанодротин з парогазової фази
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Дружинін Анатолій Олександрович,
Дата реєстрації
19-11-2014
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
Досліджено фізичні та технологічні основи створення регулярних анасамблів нанодротин кремнію на напівпровідникових підкладках з використанням золота як металу-каталізатора росту
Опис продукції
За рахунок проведеного моделювання аксіального та радіального росту нанокриталів кремнію за механізмом пара-рідина-кристал та серії досліджень з вирощування ниткоподібних кристалів кремнію у відкритій проточній системі, підібрані технологічні режими одержання нанокристалів заданого діаметра.
Автори роботи
Гарасим Ірина данилівна
Дружинін Анатолій Олександрович
Корецький Роман Михайлович
Нічкало Степан Ігорович
Островський Ігор Петрович
Ховерко Юрій Миколайович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
