Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0214U008850, 0112U006585 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка технології та дослідження фізичних процесів при рості НД кремнію в нанопористих діелектричних матрицях Назва етапу роботи Керівник роботи Дружинін Анатолій Олександрович, Дата реєстрації 19-11-2014 Організація виконавець Національний університет "Львівська політехніка" Опис етапу Проведено моделювання кінетики процесу вирощування нанодротин, яке дає можливість прогнозувати геометричні розміри кристалів, виходячи з оцінки основних параметрів цього процесу. Визначено середній діаметр утворених нанодротин Si, швидкості аксіального та радіального росту, кінетичний коефіцієнт кристалізації та критичний діаметр, який залежить від пересичення газової суміші в системі. Опис продукції Розроблено метод хімічного парового осадження, який придатний для створення впорядкованих масивів нанониток кремнію з потрібними розмірами та густиною. Автори роботи Гарасим Ірина Данилівна Дружинін Анатолій Олександрович Корецький Роман Миколайович Нічкало Степан Ігорович Островський Ігор Петрович Ховерко Юрій Миколайович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити