Реєстраційний номер
0214U008850,
0112U006585
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розробка технології та дослідження фізичних процесів при рості НД кремнію в нанопористих діелектричних матрицях
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Дружинін Анатолій Олександрович,
Дата реєстрації
19-11-2014
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
Проведено моделювання кінетики процесу вирощування нанодротин, яке дає можливість прогнозувати геометричні розміри кристалів, виходячи з оцінки основних параметрів цього процесу. Визначено середній діаметр утворених нанодротин Si, швидкості аксіального та радіального росту, кінетичний коефіцієнт кристалізації та критичний діаметр, який залежить від пересичення газової суміші в системі.
Опис продукції
Розроблено метод хімічного парового осадження, який придатний для створення впорядкованих масивів нанониток кремнію з потрібними розмірами та густиною.
Автори роботи
Гарасим Ірина Данилівна
Дружинін Анатолій Олександрович
Корецький Роман Миколайович
Нічкало Степан Ігорович
Островський Ігор Петрович
Ховерко Юрій Миколайович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
