Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0215U001367, 0112U005924 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка комплексних методів та макетних зразків пристроїв для обробки функціональних покриттів пучками високої питомої потужності Назва етапу роботи Керівник роботи Целуйко Олександр Федорович, Дата реєстрації 16-02-2015 Організація виконавець Харківський національний університет імені В.Н. Каразіна Опис етапу Об'єкт дослідження - сфокусований кільцевий іонний пучок, інтенсивні електронні та іонні пучки низької енергії в приповерхневих шарах об'ємного заряду, інтенсивне випромінювання в діапазоні екстремального ультрафіолету. Мета роботи - розробка методів формування і обробки функціональних покриттів на мікро і нано рівні за допомогою електронних та іонних пучків з високим рівнем питомої потужності. Метод дослідження - вимір зовнішніх та внутрішніх параметрів пучкових, плазмово- пучкових систем і газових розрядів; вимір випромінювання в діапазоні екстремального ультрафіолету. Нові матеріали і технології невпинно потребують розробки і впровадження нових методів обробки поверхні твердого тіла. Розроблені в роботі прилади базуються на принципово нових методах магніто-балістичного фокусування кільцевих іонних пучків в іонних джерелах холівського типу; зарядової і струмової компенсації кільцевого іонного пучка в умовах низького тиску; приповерхневого формування інтенсивних іонних потоків малої енергії, у тому числі із використанням термоіонної плазми; формування інтенсивного випромінювання в діапазоні екстремального ультрафіолету. Приведені конструкції джерела сфокусованого іонного пучка з високою питомою потужністю для полірування поверхні з нанометричною точністю; системи з приповерхневим формуванням щільних низькоенергетичних іонних потоків для обробки матеріалів без радіаційних пошкоджень; джерела інтенсивного випромінювання в діапазоні екстремального ультрафіолету для активації поверхні і підвищення адгезійних властивостей плівок. Іонне холівське джерело з магніто-балістичним фокусуванням пучків і технологія полірування поверхні з нанометричною точністю відповідають сучасному світовому рівню. Система з приповерхневим прискоренням іонних потоків має суттєві переваги над аналогами і дозволяє більш ефективно проводити технологічні процеси. Не має аналогів створений макет імпульсного джерела направленого випромінювання в діапазоні екстремального ультрафіолету. Результати НДР впроваджені на фізико-технічному факультеті Харківського національного університет імені В.Н. Каразіна, в Інституті фізики плазми ННЦ ХФТІ. Опис продукції Призначення для активації поверхні ультрафіолетом, підвищення адгезійних властивостей плівок, в нанолітографії. Дозволяє формувати потужні (до 1 МВт) імпульси спрямованого випромінювання з довжиною хвилі 13,5 нм і тривалістю 100…300 нс. Автори роботи Бізюков І. Бізюков О. Гірка О. Рябчиков Д. Середа І. Целуйко О. Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити