Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0215U003299, 0114U004870 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка, виготовлення та поставка додаткового (3-го) каналу системи напуску газу на базі мікропроцесорного пристрою регулювання протоку для вакуумного обладнання Назва етапу роботи Керівник роботи Мельнік Василь Андронович, Дата реєстрації 23-01-2015 Організація виконавець Державне спеціальнеконструкторсько-технологічне бюро фізичного приладобудування з дослідним виробництвом інституту фізики НАН України Опис етапу 1.Схема з незалежним побудуванням мережи газового натікання характеризується високими динамічними показниками, більшою точністю підтримання заданих номіналів протоків газу,можливістю повної автоматизації та програмування процесу подачи газів. Опис продукції Побудування мережи газового натікання характеризуеться високими динамічними показниками, більшою точністю підтримання заданих номіналів протоків газу, можливістю повної автоматизації та програмування процесу подачі газів до вакуумної камери установки. Автори роботи Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити