Реєстраційний номер
0215U004175,
0110U006225
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення нанотехнологій створення наноструктур методом сканувальної зондової мікроскопії з електропровідним алмазним вістрям
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Лисенко Олег Григорович,
Дата реєстрації
12-02-2015
Організація виконавець
Інститут надтвердих матеріалів ім. В.М. Бакуля НАН України
Опис етапу
Виконано теоретичні дослідження явищ тунелювання електронів між легованим бором алмазним вістрям і поверхнею зразка.Встановлено оптимальні режими наномеханічної обробки поверхні з використанням СЗМ з алмазним вістрям для отримання функціональних наноструктур та оптимальні режими сканування поверхні. Виготовлено дослідну партію алмазних нанозондів та приведені їх випробування. Виконана модернізація комбінованого сканувального зондового мікроскопу з електропровідним алмазним вістрям та розроблено спеціалізоване програмне забезпечення для сканування та наномеханічної обробки поверхні зразка з роздільною здатністю не нижче 1 нм.
Опис продукції
Метою проекту є створення нових нанотехнологій та технічних засобів для виготовлення елементів наноелектроніки та надщільних носіїв цифрових даних методом контактної дії алмазного зонду сканувального зондового мікроскопу з in-situ контролем отриманих наноструктур.
Автори роботи
Грушко В.І.
Заневський О.О.
Міцкевич Є.І.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
