Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0215U006007, 0111U008998 , Науково-дослідна робота Назва роботи Дослідження процесів плазмохімічного і газофазного відновлення металовміщуючих з'єднань у середовищах активних і інертних газів. Синтез і розділення фторидів металів і їх сполук. Назва етапу роботи Керівник роботи Широков Борис Михайлович, Доктор технічних наук Дата реєстрації 21-01-2015 Організація виконавець Національний науковий центр "Харківський фізико-технічний інститут" НАН України Опис етапу Проведені дослідження, спрямовані на водневе відновлення тетрахлориду кремнію в низькотемпературної нерівноважної плазмі високочастотного індукційного розряду. Узгодження навантаження з генератором проводилося на підставі методу циліндричного еквівалента. Визначено діапазон параметрів стійкого збудження високочастотного розряду на парогазовій суміші H2 + SiCl4. Зондовими методами визначені температура та концентрація електронів, зняті функції розподілу електронів за швидкостями. Спектрографічно досліджені умови утворення атомарного водню по доплеровському розширенню спектральних ліній Hа , Hв. За складом плазми і енергетичними характеристиками заряджених часток визначено основний напрямок протікання хімічних перетворень в розряді. Опис продукції Виявлено механізми утворення атомів водню різних енергій і вивчено вплив конструктивних особливостей і технологічних параметрів процесу на вид енергетичного розподілу атомів водню. ВЧ розряди з низьким енерговкладом характеризуються лінійною залежністю газової температури від вкладеної в розряд потужності, що істотно розширює сферу застосування даного розряду в плазмохімічному експерименті. Показано, що водневе відновлення тетрахлориду кремнію в низькотемпературній нерівноважній плазмі забезпечує високу швидкість росту плівок полікристалічного кремнію та становить R = 2,4 нм/с. Автори роботи Бакай Катерина Сергеевна Глушко Павло Іванович Дериземля Анатолій Миколайович Евсюков О.І. Журавльов Олександр Юрьевич Зуєва Татьяна Миколаевна Капустін Віталій Леонідович Крохмаль Сергей Олександрович Мартиненко Віктор Григорович Осипов Олександр Давидович Патокін Олександр Петрович Пелипець Юрий Олександрович Радченко Володимир Іванович Семенов Микола Олександрович Стригуновський Сергей Олександрович Суща Аліна Анатольевна Хованський Микола Олександрович Широков Борис Михайлович Шиян Олександр Васильович Щербакова Валентина Володимирівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити