Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0215U007119, 0114U002569 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення технології нанорозмірних структур з плівками германію та його сполук з кремнієм і арсенідом галію на підкладках GaAs та Si для виготовлення на їх основі електронних приладів Назва етапу роботи Керівник роботи Венгер Євген Федорович, Дата реєстрації 09-02-2015 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Досліджено конденсацію тонких нанонеоднорідних плівок Ge у вакуумі на напівізолюючих підкладках GaAs (100). Використано методи атомно-силової мікроскопії, оптичної спектроскопії, вимірювання внутрішніх механічних напружень у плівці та її електронних властивостей. Показана можливість отримання тонких нанонеоднорідних монокристалічних бездислокаційних плівок з низьким рівнем механічних напружень, двомірною перкаліційною провідністю, нанорельєфною поверхнею та високою термічною чутливістю, які можуть бути використані в ІЧ та електронній техніці. Опис продукції Досліджено конденсацію тонких нанонеоднорідних плівок Ge у вакуумі на напівізолюючих підкладках GaAs (100). Використано методи атомно-силової мікроскопії, оптичної спектроскопії, вимірювання внутрішніх механічних напружень у плівці та її електронних властивостей. Показана можливість отримання тонких нанонеоднорідних монокристалічних бездислокаційних плівок з низьким рівнем механічних напружень, двомірною перкаліційною провідністю, нанорельєфною поверхнею та високою термічною чутливістю, які можуть бути використані в ІЧ та електронній техніці. Автори роботи Є.Ф.Венгер І.Ю.Неміш В.В.Мітін В.В.Холевчук В.Ф.Мітін Л.А.Матвєєва О.С.Забродська Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити