Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0216U000571, 0115U003165 , Науково-дослідна робота Назва роботи Технології формування наноструктур для електроніки, медицини та ядерної енергетики методом кластерного реактивного іонно-плазмового синтезу Назва етапу роботи Керівник роботи Бажин Анатолій Іванович, Доктор фізико-математичних наук Дата реєстрації 09-02-2016 Організація виконавець Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України Опис етапу Розроблені технологічні принципи реактивного іонно-плазмового синтезу (РІПС) на основі магнетронного, ВЧ індукційного та ВЧ ємнісного плазмових модулів для експериментальної кластерної вакуумно-плазмової установки. Створені математичні моделі оптимальних процесів РІПС. Отримані зразки нанокомпозиційних покриттів на основі оксидів і нітридів металів перехідної групи застосуванням технології РІПС. Опис продукції Розроблена технологія формування наноструктурованих елементів методом реактивного іонно-плазмового синтезу в багатофункціональній кластерній установці на основі модулів магнетронного, ВЧ індукційного та ВЧ ємнісного типів. Автори роботи Бурштинська Лідія Валентинівна Дудін Станіслав Валентинович Дудіна Наталія Григорівна Кривонос Володимир Михайлович Кропотов Олександр Юрійович Мірошниченко Григорій Олександрович Маліков Леонід Васильович Пхалагова Наталія Альбертівна Турбін Петро Васильович Удовицький Віктор Григорович Яковін Станіслав Дмитрович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Технології формування наноструктур для електроніки, медицини та ядерної енергетики методом кластерного реактивного іонно-плазмового синтезу
Керівник: Бажин Анатолій Іванович. Технології формування наноструктур для електроніки, медицини та ядерної енергетики методом кластерного реактивного іонно-плазмового синтезу. (Етап: ). Науковий фізико-технологічний центр МОН та НАН України. № 0216U000571
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-16


Роздрукувати цю сторінку