Знайдено документів: 1
Інформація × Реєстраційний номер 0216U000607, 0112U008358 , Науково-дослідна робота Назва роботи Створення напівпровідникових шарів на неорієнтуючих підкладках та підкладках з розвиненою поверхнею шляхом вакуумного термічного напилення та відпалу Назва етапу роботи Керівник роботи Баганов Євген Олександрович, Дата реєстрації 10-02-2016 Організація виконавець Херсонський національний технічний університет Опис етапу Розроблено технологічне оснащення для реалізації термічного напилення аморфних шарів та наступного їх відпалу. Проведені експериментальні дослідження показали коректність запропонованої математичної моделі процесів. На основі створеної математичної моделі реалізована програма для розрахунку технологічних умов, що забезпечують отримання полікристалічних шарів з наперед заданими параметрами. Опис продукції Розроблено технологічне оснащення для реалізації термічного напилення аморфних шарів та наступного їх відпалу. Проведені експериментальні дослідження показали коректність запропонованої математичної моделі процесів. На основі створеної математичної моделі реалізована програма для розрахунку технологічних умов, що забезпечують отримання полікристалічних шарів з наперед заданими параметрами. Автори роботи Томілова Владислава Владиславівна Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити
НДДКР ОК
Керівник: Баганов Євген Олександрович. Створення напівпровідникових шарів на неорієнтуючих підкладках та підкладках з розвиненою поверхнею шляхом вакуумного термічного напилення та відпалу. (Етап: ). Херсонський національний технічний університет. № 0216U000607
Знайдено документів: 1

Оновлено: 2026-03-15