Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0216U001193, 0115U001364 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розробка та дослідження плазмового джерела нового типу для однорідної обробки великих поверхонь на основі геліконного розряду з лінійною збуджуючою системою Назва етапу роботи Керівник роботи Вірко Валерій Федорович, Дата реєстрації 27-01-2016 Організація виконавець Інститут ядерних досліджень НАН України Опис етапу Продовжено дослідження розподілів концентрації плазми у модифікованому геліконному розряді з лінійною збуджуючою системою. Вимірювались розподіли іонного струму на спеціально розроблений секціонований колектор, який імітує оброблювану поверхню. Дослідження поширено на режими збудження розряду в нерезонансних умовах, коли відстань між антеною і оброблюваною поверхнею менша за довжину стоячої геліконної хвилі в напрямку магнітного поля. Встановлено, що в цьому випадку розряд з достатньою однорідністю концентрації вздовж антени можна реалізувати лише при наявності магнітного поля певної напруженості. При перевищенні оптимального магнітного поля розподіл концентрації стає нестійким і плазма зосереджується на одному з кінців антени, тоді як з іншого боку її концентрація різко спадає. В цих умовах, при підвищенні ВЧ потужності в розряді виникає популяція енергічних електронів, що проявляється у зростанні від’ємного плаваючого потенціалу в плазмі. Виявлено, що такий перерозподіл концентрації ініціюється електростатичною складовою зв’язку антени з плазмою. Розподіл високочастотного магнітного поля Вz вздовж антени виявляє ознаки стоячої хвилі, що поширюється перпендикулярно до зовнішнього магнітного поля В0. На відміну від геліконів довжина цих хвиль зменшується при збільшенні магнітного поля і не залежить від концентрації плазми. Висловлено припущення про можливий зв’язок розподілу концентрації з цим хвильовим процесом. Опис продукції Розроблений метод використовує спеціально розроблене обладнання для визначення однорідності густини плазми вздовж лыныйної індукційної антени Автори роботи Вірко Юрій Валерійович Слободян В'ячеслав Михайлович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити