Пошук академічних текстів

Реєстраційний номер

0216U003377, 0113U003066 , Науково-дослідна робота

Назва роботи

Дослідження явищ формування та деградації наноструктурованої поверхні кремнію, отриманої новим методом неелектролітичного травлення

Назва етапу роботи

Керівник роботи

Бритавький Євген Вікторович,

Дата реєстрації

18-02-2016

Організація виконавець

Одеський національний університет ім. І. І. Мечникова. Наукова частина

Опис етапу

При виконанні теми розроблена концепція формування наноструктурованої поверхні кремнію при неелектролітичному травлені та побудована фізична модель процесу травлення структур кремній-метал з урахуванням інжекції дірок на границі розділу; розроблено механізм формування наноструктур кремнію різних форм із заданими фізичними властивостями в залежності від технології їх отримання. Також визначено основні фізичні властивості (оптичні, електричні) нанокремнію, отриманого в результаті неелектролітичного травлення, в залежності від структури; досліджено фізичні механізми чутливості сенсорів та побудовано теоретичну модель чутливості на основі кремнієвих нанониток, отриманих при неелектролітичному травленні кремнію. Знайдено основні механізми впливу структурних дефектів кремнію на процес неелектролітичного травлення поверхні.

Опис продукції

Побудовано нову модель наноструктурування поверхні кремнію отриманого методом неелектролітичного травлення в присутності частинок благородних металів та виявлено ефективність впливу різних реагентів на морфологію та нові фізичні характеристики наноструктурованої поверхні: визначено основні морфологічні особливості наноструктурованої поверхні кремнію отриманого методом неелектричного травлення; вивчено фізичні механізми чутливості сенсорних структур на поверхні кремнію, отриманих в результаті застосування нового методу неелектричного травлення.

Автори роботи

Миндрул В.Б.
Ніцук Ю.А.
Павлєнко М.М.
Рімашевський О.А.
Сминтина В.А.
Яцунський І.Р.

Додано в НРАТ

2020-04-02