Пошук академічних текстів

Інформація × Реєстраційний номер 0216U003589, 0114U000677 , Науково-дослідна робота Назва роботи Розроблення і створення технологій вирощування наноструктурованих карбонованих матеріалів кремнію та карбіду кремнію для опто- і мікроелектронних приладів Назва етапу роботи Керівник роботи Лисенко Володимир Сергійович, Дата реєстрації 01-02-2016 Організація виконавець Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України Опис етапу Проведено процеси осадження аморфних плівок a-SiOC:H на кремнієві та скляні підкладки методом магнетронного розпилення кремнієвої мішені в протоці аргону, метану та кисню з незалежним регулюванням швидкості протоку кожного газу при фіксованому загальному тиску. Виготовлена серія зразків плівок для вивчення впливу швидкості протоків робочих газів та потужності розряду на структуру та фотолюмінісцентні властивості плівок. Проведений аналіз локальної структури плівок методами інфрачервоної спектроскопії поглинання та відбивання. Проведений аналіз фотолюмінісцентних властивостей плівок a-SiOC:H. Встановлено, що (2) при такому способі напилення не армуються зв'язки Si-C а структура плівок являє собою аморфний a-SiO2:H/a-C:H нанокомпозит, (2) збагачення плівок вуглецем призводить до значного посилення видимої фотолюмінесценції при кімнатній температурі. Опис продукції Створення технологій вирощування наноструктурованих матеріалів на основі кремнію та вуглецю для оптоелектричних і мікроелектронних приладів. Автори роботи Васін Андрій Володимирович Назаров Олексій Миколайович Русавський Андрій Вадимович Додано в НРАТ 2020-04-02 Закрити