Реєстраційний номер
0216U005826,
0114U004124
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Формування і властивості гетероструктур Si/SiO2/Si з вбудованими в діелектрик нанокластерами кремнію: експеримент, моделювання, вплив вуглецю
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Литовченко Володимир Григорович,
Дата реєстрації
16-02-2016
Організація виконавець
Інститут фізики напівпровідників імені В.Є.Лашкарьова НАН України
Опис етапу
Вперше спостерігалась кінетика формування наночасток кремнію в процесі термостимульованого розділення фаз плівки SiOx. В наближенні дифузійної моделі формування сферичних кремнієвих частинок в процесі термостимульованого розділення фаз отримано коефіцієнти дифузії атомів плівки SiOx. В спектрах ФЛ плівок SiOx спостерігаються дві основні смуги поблизу 900 та 750 нм, що відповідають кристалічним та аморфним частинкам кремнію, відповідно. При температурах 300-500 оС відбувається формування аморфної фази кремнію, при 900-1000 оС - кристалічної. Запропоновано модель утворення нановключень кремнію, вбудованих в оксидну матрицю. Показано, що імплантація вуглецю приводить до появи додаткових смуг випромінювання нанокластерів у видимій області спектру. Запропоновано фізичні механізми, що пояснюють спостережувані ефекти.
Опис продукції
Вперше спостерігалась кінетика формування наночасток кремнію в процесі термостимульованого розділення фаз плівки SiOx. В наближенні дифузійної моделі формування сферичних кремнієвих частинок в процесі термостимульованого розділення фаз отримано коефіцієнти дифузії атомів плівки SiOx. В спектрах ФЛ плівок SiOx спостерігаються дві основні смуги поблизу 900 та 750 нм, що відповідають кристалічним та аморфним частинкам кремнію, відповідно. При температурах 300-500 оС відбувається формування аморфної фази кремнію, при 900-1000 оС - кристалічної. Запропоновано модель утворення нановключень кремнію, вбудованих в оксидну матрицю. Показано, що імплантація вуглецю приводить до появи додаткових смуг випромінювання нанокластерів у видимій області спектру. Запропоновано фізичні механізми, що пояснюють спостережувані ефекти.
Автори роботи
Лісовський І.П.
Литовченко В.Г.
Мельник В.П.
Оберемок О.С.
Попов В.Г
Романюк Б.М.
Саріков А.В.
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
