Реєстраційний номер
0216U006351,
0115U000445
, Науково-дослідна робота
Назва роботи
Розроблення багатофункційних перетворювачів на основі мікро- і наноструктур кремнію для інформаційно-вимірювальних систем
Назва етапу роботи
Керівник роботи
Дружинін Анатолій Олександрович,
Дата реєстрації
12-01-2017
Організація виконавець
Національний університет "Львівська політехніка"
Опис етапу
Розроблено технологічні засади створення наноструктур на основі масивів кремнієвих ниткоподібних нанокристалів методом MacEtch для антивідбивних поверхонь фотоперетворювачів з прогнозованими характеристиками. Використовуючи реактивні компоненти імпедансу в мікро- і наноструктурах на основі Si, створено елементи схем керування, зокрема LC-контури для інформаційно-вимірювальних систем, добротність яких співмірна з відомими. Розроблено багатофункційні перетворювачі фізичних величин, зокрема: чутливий елемент акселерометра на основі наноструктур кремнію за суміщеною технологією; датчик теплового випромінювання, призначений для дистанційного вимірювання температури поверхонь стаціонарних та рухомих елементів механічних конструкцій виробів і об'єктів подвійного призначення; сейсмодатчик з використанням тензорезисторів на основі ниткоподібних кристалів кремнію р-типу провідності, який за основними параметрами не поступається зарубіжним аналогам.
Опис продукції
Продукція відноситься до приладів, які вимірюють постійну і динамічну складові деформації, а також реєструють сигнали від рухомих наземних об'єктів. Основою конструкції розробленого сейсмічного датчика вібрації є тензорезистори на основі ниткоподібних кристалів кремнію р-типу провідності, вихідні характеристики яких слабко залежать від магнітного поля (до 14 Тл) і електронного опромінення.
Автори роботи
Єрохов Валерій Юрійович
Бильдіна Яна Андріївна
Гарасим Ірина Данилівна
Когут Юрій Романович
Корецький Роман Миколайович
Кутраков Олексій Петрович
Лях-Кагуй Наталя Степанівна
Нічкало Степан Ігорович
Островcький Ігор Петрович
Стасів Василь
Хитрук Ігор Ігорович
Ховерко Юрій Миколайович
Чернецький Михайло Володимирович
Яцухненко Сергій Юрійович
Додано/оновлено в НРАТ
2020-04-02
